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TECHNICAL ARTICLES可調(diào)諧激光器從實(shí)現(xiàn)技術(shù)上可分為以下三種類型
2021-06-28 可調(diào)諧激光器是指在一定范圍內(nèi)可以連續(xù)改變激光輸出波長(zhǎng)的激光器，本產(chǎn)品與其他傳統(tǒng)的固態(tài)激光器相比，具有從近紫外到近紅外的寬波段調(diào)諧范圍，并且其本身尺寸小、線寬窄和光學(xué)效率高，可用于光譜學(xué)、光化學(xué)、醫(yī)學(xué)、生物學(xué)、集成光學(xué)、污染監(jiān)測(cè)、半導(dǎo)體材料加工、信息處理和通信等。可調(diào)諧激光器從實(shí)現(xiàn)技術(shù)上看主要分為：電流控制技術(shù)、溫度控制技術(shù)和機(jī)械控制技術(shù)等類型。電流控制技術(shù)是通過(guò)改變注入電流實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)的調(diào)諧，具有ns級(jí)調(diào)諧速度，較寬的調(diào)諧帶寬，但輸出功率較小，基于電控技術(shù)的主要有SG-DBR(采...什么時(shí)候使用主動(dòng)隔振系統(tǒng)？哪種方法更適合您的應(yīng)用程序？（第一部分）
2021-05-07 什么時(shí)候使用主動(dòng)隔振系統(tǒng)？哪種方法更適合您的應(yīng)用程序？（第一部分）主動(dòng)系統(tǒng)隔振本章節(jié)將幫助工程師和科學(xué)家對(duì)主動(dòng)隔振系統(tǒng)有一個(gè)大致的了解，它們是如何工作的，什么時(shí)候應(yīng)該應(yīng)用，以及它們有什么限制。由于半導(dǎo)體制造業(yè)在這一領(lǐng)域出現(xiàn)了許多應(yīng)用，因此得到了特別的關(guān)注。5.1歷史反饋控制系統(tǒng)已經(jīng)存在了幾百年，但是在20世紀(jì)有了最大的發(fā)展。在第二次世界大戰(zhàn)期間，這項(xiàng)技術(shù)被用于防御系統(tǒng)，取得了非常迅速的進(jìn)展。這些發(fā)展還在繼續(xù)，甚至在今天，大多數(shù)關(guān)于控制系統(tǒng)的文本都以戰(zhàn)斗機(jī)控制和倒彈制導(dǎo)系統(tǒng)為例...如何克服因地面振動(dòng)影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量？
2021-02-05 如何克服因地面振動(dòng)影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量？振動(dòng)對(duì)高級(jí)浸沒(méi)式光刻的影響沒(méi)有使用STACIS®在原基座的彈性體或剛性版本上獲得jia模式使用STACIS®STACIS主動(dòng)隔振實(shí)現(xiàn)的模式所示的45納米線寬測(cè)試圖形是由AmphibianSystems公司生產(chǎn)的*浸入式光刻系統(tǒng)生產(chǎn)的，安裝在德克薩斯州*的SEMATECH公司。圖像之間的差異是由于地震振動(dòng)對(duì)光刻過(guò)程的影響。所顯示的圖像是使用掃描電子顯微鏡獲得的。該工具初安裝在鋼和混凝土基座上，基座采用鋼支撐結(jié)構(gòu)，其中包含...【是心動(dòng)的感覺(jué)】-新品Cleanbench-AKTIV
2021-01-18 【是心動(dòng)的感覺(jué)】-新品Cleanbench-AKTIV主動(dòng)壓電隔振與氣浮隔振的完美結(jié)合：CleanBenchAktiv™實(shí)驗(yàn)臺(tái)是TMC在高性能地面振動(dòng)控制方面的新突破。它將TMC的Everstill主動(dòng)消振技術(shù)與MaxDamp氣浮隔振器相結(jié)合。Everstill可從0.5至0.7Hz開(kāi)始提供出色的低頻消振性能，而MaxDamp可提供高頻率的較好隔振性能補(bǔ)充。比氣浮性能改善高達(dá)40倍：這種串聯(lián)式的組合結(jié)構(gòu)，使我們的CleanBenchAktiv在特別關(guān)鍵的1-3Hz...主動(dòng)壓電隔振與氣浮隔振的結(jié)合Cleanbench-AKTIV
2021-01-18 新品Cleanbench-AKTIV主動(dòng)壓電隔振與氣浮隔振的結(jié)合：CleanBenchAktiv™實(shí)驗(yàn)臺(tái)是TMC在高性能地面振動(dòng)控制方面的新突破。它將TMC的Everstill主動(dòng)消振技術(shù)與MaxDamp氣浮隔振器相結(jié)合。Everstill可從0.5至0.7Hz開(kāi)始提供出色的低頻消振性能，而MaxDamp可提供高頻率的較好隔振性能補(bǔ)充。比氣浮性能改善高達(dá)40倍：這種串聯(lián)式的組合結(jié)構(gòu)，使我們的CleanBenchAktiv在特別關(guān)鍵的1-3Hz頻率內(nèi)性能提升明顯：提...公司郵箱： panyue@sourcescn.com
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