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TMC Quiet Island 大型儀器主動(dòng)隔振系統(tǒng) 采用STACIS - TMC業(yè)界ling 先的主動(dòng)壓電消振技術(shù)、“硬安裝”設(shè)計(jì)和始于0.6 Hz的隔振與內(nèi)置隔振器的工具兼容。 模塊化、定制和重新定位的靈活性 - 每個(gè)平臺(tái)都根據(jù)客戶的應(yīng)用量身定做，但與混凝土平臺(tái)不同，如果工具或地面特性發(fā)生變化，這些平臺(tái)可以很容易地重新進(jìn)行配置。

TMC STACIS IIIc 緊湊型有源壓電 主動(dòng)隔振 STACIS IIIc 是我們STACIS III 有源壓電振動(dòng)消除系統(tǒng)的緊湊型版本。它以較低的高度提供同樣出色的隔振性能。 STACIS IIIc 非常適合沒(méi)有活動(dòng)地板或活動(dòng)地板非常低的情況，在這種情況下，標(biāo)準(zhǔn) STACIS III 系統(tǒng)的高度會(huì)使儀器過(guò)高。

TMC臺(tái)式主動(dòng)隔振平臺(tái)采用地音探測(cè)速度傳感器達(dá)到亞赫茲的低頻性能，其低頻靈敏度要優(yōu)于加速度計(jì)。

主動(dòng)隔振平臺(tái)采用串聯(lián)式主動(dòng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的臺(tái)式振動(dòng)消除系統(tǒng)，再加上用于提升亞赫茲靈敏度的速度傳感器，可以使低頻振動(dòng)得到大幅衰減。

STACIS®III主動(dòng)隔振系統(tǒng)主動(dòng)光學(xué)平臺(tái)。采用*的慣性振動(dòng)傳感器，復(fù)雜的控制算法，和*的壓電致動(dòng)器。STACIS通過(guò)連續(xù)測(cè)量地板活動(dòng)、擴(kuò)大和收縮壓電致動(dòng)器過(guò)濾地板振動(dòng)來(lái)進(jìn)行實(shí)時(shí)隔離振動(dòng)。 初被設(shè)計(jì)用于*半導(dǎo)體工廠的精密顯微光刻、計(jì)量和檢測(cè)設(shè)備的隔振，STACIS現(xiàn)在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，包括但不局限于半導(dǎo)體晶圓廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備